产品参数及介绍

产品介绍

LL.png


流量校准

福禄克公司计量校准部提供可在更高压力下使用音速喷嘴流量元素的流量校准系统,以及强大的内部气动设计。

LL.1.png

什么是气体流量校准?

气体流量校准是指通过将流量敏感设备(例如流量计或流量控制器)的测量结果与某个流量测量参考比较来校准该设备。通常设备或在测设备 (UUT) 在气动性上与流量参考串行连接,这样它们便测量相同的气体流量,然后比较两台设备的读数。

在何处使用气体流量校准?

  • 流量计/控制器制造和服务

    流量计和质量流量控制器 (MFC) 的制造商执行的校准非常多,因而要求标准具有速度快、准确并可实施自动化的特点。若要手动调整质量流量计和质量流量控制器,molbloc/molbox 的精确实时流量输出尤为重要。许多 MFC 服务中心都使用 molbloc/molbox 执行手动模拟 MFC 校准。

  • 过程控制

    技术人员可使用 molbloc/molbox 校准、测试仪器并排除仪器故障,并且测试从制造到研究应用中的系统。在这些应用中,关键要求通常是可重复性、速度和便携性。

    • 半导体/光纤/光电

      这些和其他涉及涂层的过程和气体淀积过程都非常依赖质量流量控制器的性能和稳定性。在工厂级实施 MFC 校准可能会比外包服务节省费用,而且因为具有可靠的故障排除参考,所以可节省大量的停机时间。通常可将 molbloc 直接连接到流量歧路,可在不卸载的情况下检查 MFC 的性能。

    • 生物制药

      气流流入生物反应器和发酵罐的速度非常关键,molbloc/molbox 在许多制药厂用于执行可跟踪的 MFC 校准。对于许多就地校准应用而言,可运输型很关键,借助 molbloc-S,molbloc/molbox 可交付一个每分钟高达数百升甚至数千升的便携式解决方案。

    • 石油化工产品(研发)

      在开发石油化工工艺(以后增加生产数量)的研究设施中,流量计和控制器的准确测试很关键。福禄克计量校准可以提供或指定简单的硬件设置,以允许 molbloc 测试在压力 3,000 psi 或更高下运行的测试设备。

    • 燃料电池测试

      测试燃料电池性能需要准确测量氢气和其他气流。在小型或大型燃料电池测试环境中,molbloc/molbox 可以快速而准确地校准 MFC。

    • 气体混合

      动态气体混合是称重或其他填充方法的备选方法,可以更快地创建标准气体混合。molbloc/molbox 可以提供混合系统流量设备的可跟踪性,或在关键应用中可在混合控制系统中直接使用。

  • 环境质量/监控

    molbloc/molbox 是检测环境和有毒气体监视“校准器”的第一选择。这些设备控制污染气体的临界浓度,以用于监视器校准。molblocs 可轻松连接到实验室或现场的校准器进行可跟踪校准。molbloc/molbox 由州/省/市/自治区、当地、国家和国际机构用于支持其空气质量监控仪器,而且对其提供支持的仪器供应商也会使用。

    PM2.5 微粒监控系统的 FTS 流量传输标准校准还可轻松使用 molbloc-S

  • 医疗/呼吸系统

    不论在生产还是重新认证中,流量计校准和呼吸空气系统测试均是 molbloc/molbox 很常见且重要的应用。飞机/安全医疗。

  • 泄漏测试

    • 核、防毒面具、制造

      molbloc/molbox 用于测试流量计和用于各种产品(从防毒面具到医疗设备)泄漏测试的小孔。molbloc/molbox 是核设施中使用的泄漏速率监视器流量校准的当然之选,因为 molbloc 可以在运行设备上游所需的提升压力下运行。

  • 国家级计量/科研机构(NMI)

    molbloc/molbox 和福禄克计量校准的流量基准,GFS2102 在各国计量院气流量实验室中使用。GFS 是一个真正的质量流量基准,molbloc/molbox 提供高精度作为流量传输标准。

质量流量与体积流量

有关气体流量测量的一个常见讨论主题是质量流量和体积流量,而且两者很容易混淆。就本质而言,用于流量测量的流量计和流量装置是用于测量和表示通过设备的气体体积数量或质量总量(或数量、摩尔或分子)。在执行气流校准时,使用质量流量参考测量,因为质量流量流经流量系统时速率固定,状态稳定。因为气体是可压缩的,所以体积流量速率会在流量系统中的不同位置各不相同,这归因于温度和压力的变化导致密度发生变化。molblocs 是质量流量标准,与其他流量设备的比较结果便很可靠。molbox 终端还可以按照系统中其他点的体积流量来计算和表示流量速率,这样便可测试基于体积的设备。

流量基标准与流量传递标准

福禄克计量校准提供流量基标准与流量传递标准,这使测量性能达到优良。客户有时会面对是适合使用流量基标准还是传递标准的问题。我们建议客户所使用的标准可提供所需的测量不确定度和可靠性,并且将其作为校准实验室需求的补充。福禄克计量校准的 GFS2102 动态质量流量基准系统是流量基标准,所提供的测量不确定度较低。但对绝大多数客户而言,使用 molbloc/molbox 流量校准系统会更有效。对 molblocs 的校准是通过基于主要重量流量测量的校准链进行比较,并产生像流量校准器一样高可重复的、高精度性能。同时,molbloc/molbox 在速度、便捷性和便携性方面更胜一筹,与 GFS 相比,它更为经济高效。

众多实验室已选择 molbloc/molbox 替换质量流量校准和转子流量计校准应用中的许多活塞式校准器和钟罩式校准器系统。活塞式校准器和钟罩式校准器被广泛视作主要标准,但必须注意,它们是体积流量测量设备。它们常用直接体积流量测量与压力和温度测量以及气体性质数据来计算用于校准的质量流量速率。

流量传递标准的一个重要特征是在每次重新校准期间,它们必须经过严格的流量校准。基标准不是通过与其他流量测量标准比较进行校准的,而是通过只测试其各个测量组成(例如时间、距离、质量、压力或温度)来进行校准。如果不进行定期深入测试并与合适的流量参考进行比较,用户便不敢确保主要标准的流量测量性能。重要的是,实验室必须选择提供稳定的测量可靠性和运行功能的流量校准器。

气体流量标准

福禄克计量校准部提供了用于校准流量测量仪表的 molbloc/molbox 气体流量校准系统和对应极大流量范围的控制器。这些系统快速、精准、易于运输,并且可是使用 COMPASS for Flow 软件实现完全自动化。作为测量系统的核心,molbloc 具有稳定的机械性、经过重量测量校准的层流和音速喷嘴标准模块。

LL 2.png


LL 6.png



molbloc-L_straightB_01a_328px_x_220px.jpg

molbloc-L 层流元件

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

特性一览

  • 可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

  • 整合了过滤器,可保护其免受污染

  • 完整的气体温度调节和测量

  • 连续、实时的读数

  • 可以实现全自动

  • 无活动部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。



PCAL_molbloc-S-straight_01a_328px_x_220px.jpg

molbloc-S 音速喷嘴流量元件

基于音速喷嘴的 molbloc,气流可达 5,000 slm

molbloc-S® 是一种高精确度的传送标准,适用于校准其他传送标准或过程流量计和控制器。molbloc-S 与 molbox1+ 或 molbox RFM™ 终端配合,可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程,并且为中高流量提供出众的准确度。现有的 molbox1 终端配备了 4.0 或更高版本的嵌入软件,而所有 molbox1+ 终端都能与 molbloc-S 结合使用。

特性一览

  • 对于 N2 和空气,覆盖高达 5,000 slm 的量程

  • 可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

  • 重量校准支持可靠的流量文氏管(音速)喷嘴操作原则

  • 污染物敏感度极低

  • 测量不确定度:
    对于 molbox1+,可达到 ±0.125% 读数
    对于 molbox1,可达到 ±0.2% 读数
    对于 molbox RFM,可达到 ±0.5% 读数

  • 可以使用空气、N2、Ar、He 和其他校准气体,可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿

  • 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空,可实现量程可调性(10:1 调节)。

  • 冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性

  • 完整的气体温度调节和测量

  • 连续、实时的读数,就像传统的 molbloc-L 层流元件一样

  • 可以实现全自动

PCAL-molboxRFM_01a_328px_x_220px.jpg

molbox RFM 流量测量主机

molbox RFM 是一个辅助单元,可使用 molbloc-L 层流和 molbloc-S 声速流元件进行质量流量测量。

molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据,并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻,然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性,可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件,在流量量程 10% FS 以下时,可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。

molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛,适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说,molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。

  • 结构紧凑

  • molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm,而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm

  • 从 20 种不同的气体中选择

  • 利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数

  • 内部阀门,可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持

  • 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数

  • 完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信

  • 利用可由用户设置的参考压力和温度状态,测量质量和体积流量

Fc-molbox1_plus_09a_s_328px_x_220px.jpg

molbox1+ 流量测量主机

读数的 ±0.125% — 最低的气流校准不确定度

福禄克计量校准部的全新 molbox1+ 流量终端是对 molbloc/molbox 气流校准系统的一次重大升级。molbox1+ 结合了 molbox 流量元件,可确保您获得气流计校准和控制器校准工作的最低不确定度。特别配置版 molbox1+S 可让您在最高压力下使用 molbloc-S 音速喷嘴流量元件,而且极其精准,大大扩展了产品的流量使用量程。

molbloc/molbox1+ 气流校准系统是气流计校准、和校准热质量流量控制器 (MFC)、转子流量计、气泡检测仪以及其他流量测量设备的解决方案。molbloc/molbox 可开展实时测量,无需移动部件且获得多个不同气体与工作压力的可溯源校准支持,因此能够应对几乎任何校准应用。molbloc/molbox 系统在很多行业内得到广泛应用,包括制药、半导体、航空、环境监测、发电、参考气体配方、以及研究和标准实验室。

特性一览

molbloc-L 与 molbloc-S 元件的在对质量流量测量进行高级校准时不确定度仅为读数的 ±0.125%。

  • molbox1+S 的配置拥有超强的 molbloc-S 可调量程,无需使用真空泵

  • 现在请在相同气体的高低压应用中使用任意 molbloc 元件

  • 内部气动设计

  • 全套软件自动化产品与硬件附件带来完整的气流校准系统 — 包括全新的 COMPASS® for Flow 校准辅助软件



PCAL-GFS_328px_x_220px.jpg

GFS动态质量流量基准

通过 GFS 动态重质量流量校准系统,用户可校准 molbloc 或其他高精度设备(这些设备均使用和福禄克公司计量校准部相同的参考标准)的精确度和可追溯性。GFS 是一种真正的质量流量参考,适用于需要将测量的不确定性降到最低的顶级测量机构。

GFS™ 提供了一种真正的主质量流量标准,并使得低气体质量流速的基本测量真正可行。

  • 覆盖从 0.2 到 200 mg/s 的多种气体量程(10 sccm 到 10 slm N2)

  • 支持的气体:无毒性的非腐蚀气体

  • 流量测量不确定度低至 ±0.013% 读数

  • 最大出口压力:650 kPa 绝压

  • 使用质量和时间测量的主要重量原则

  • 可以实现自动化的无人管理操作

GFS 动态重力质量流量校准系统包括所需的电子质量天平、封壳和电子仪器,以准确实时测量损耗的
气体质量和整个过程的持续时间。为了提高热稳定性并抑制振动,请将天平放在一个大的花岗岩表面并使用通风的封壳将其包围。在该系统中,通过增压套筒提供测试气体,增压套筒置于天平上,系统会不断地测量其质量,以确定测试过程中损耗气体的质量和速度。通过连接到系统控制器的高速 USB 计数器/定时器来测量执行此测试所用的时间。该系统可以使用各种非腐蚀性气体种类,只需抽离参考套筒中的气体并对所选介质进行加压。

已经开发了专用的基于 PC 的软件程序 (GFSTools™),用作仪器的中央控制以及用户界面。系统会记录测试输出下天平和设备的离散值和平均值,然后计算结果并将其显示为总质量和质量流量等项。对环境压力、温度和湿度以及平衡偏移的补充测量均由 GFSTools 执行。自动测试设置、数据报告和流量控制也由该程序进行处理。

LL 3.png


气体流量配件

福禄克计量校准部提供数种气体流量校准配件,可带来干净、稳定的气体流量,并进行所需的电子和气动式连接。MFC 开关盒支持 MFC 组件和和控制,并使用额外的开关盒,可最多同时连接到五个 MFC。molstics™ 提供一套灵活的安装解决方案,可安装 molbloc、调节压力以及连接设备以进行测试。

LL 4.png



FCAL-mfc switchbox_02a_328px_x_220px.jpg

MFC 控制切换开关   

在一个 molbox1+ 或 MFC-CB 通道上为5 个 MFC 或 MFM 提供 MFC Switchbox 电源和开关。

MFC 开关盒是 molbox1+ MFC 选件和 MFC-CB 质量流量控制盒的附件。此附件可以为最多 5 个 MFC 和/或 MFM (DUT) 连续供电,并且允许在一个 molbox1 或 MFC-CB 通道上切换控制。

MFC 开关盒包含内部开关,可在 5 个 25 针的 MFC 连接端口之间切换。molbox1+ 和 MFC-CB 支持开关盒控制,只需使用前面板菜单或远程 ASCII 字符串命令,就可以更改 MFC 开关盒通道。

MFC 开关盒独立供电,可以配置为同时给 5 个连接端口连续供电。这样,就可以在一个通道上测试某个 MFC 时,对其他 MFC 进行加热。对于许多需要密集的不间断加热阶段,以便在标称技术指标下工作的 MFC 而言,此特性尤其有用。

MFC 开关盒支持 COMPASS for Flow 软件的分支控制,这样一个量程的 MFC 可用于自动控制流量,以便测量其他量程的 DUT(例如 MFM)。控制 MFC 连接到通道 1,而测量 DUT 连接到其他四个通道。(注:MFC 开关盒旨在与基于电压的 MFC 结合使用。每次只能连接一个基于电流的 MFC。)

使用开关盒附带的电缆,将 MFC 开关盒连接到 molbox1+ 或 MFC-CB MFC 控制连接件以及开关盒通信端口。MFC 连接电缆(未附带)与直接连接到 molbox1 或 MFC-CB 上时使用的电缆相同。


FCAl-MFC-CB_02a_328px_x_140px.jpg

MFC-CB 流量控制器控制盒

特性

  • 在两(2)个通道上同时设定并读取 0 至 5 V 或 4 至 20 mA

  • 通过 RS-232 与 IEEE-488 接口实现全面的前面板本地控制与远程操作

  • 包含高级特性如双(2)通道总和、差值与比率

  • 以 V、mA、%FS 以及流量单位进行显示

  • 自动处理气体转换(K)因数

  • 使用 MFC Switchbox™ 在五(5)个通道之间转换每一个通道

  • 与其他 molbloc/ molbox™ 流量产品拥有相同的外感、感觉和规程。

  • 兼容 COMPASS® for molbox 软件,可设定 基于molbloc/molbox 的自动化流量系统


PCAL-molstic-L-single_328px_x_220px.jpg

molstic-L 层流流量元件安装台

针对 molbloc-L 质量流量元件

molstic molbloc 安装系统方便协助您实现 molbloc/molbox™ 的功能优势。molstics 为 molbloc 的实际安装问题提供了工程解决方案,用以连接供气、调节压力并连接受测设备。部件已集成在紧凑式设备总成之内,确保优化的 molbloc/molbox 性能

LL 7.png



PCAL-molstic-S_01a_328px_x_220px.jpg

molstic-S 音速喷嘴流量元件安装台

针对 molbloc-S 质量流量元件

molstic-S™ 为 molbloc-S® 质量流量元件的实际安装问题提供了工程解决方案,用以连接供气、调节压力并连接受测设备。1/4 英寸 molstic-S 中所含带的过滤器可保护小型 molbloc-S 元件免受污染。部件已集成在紧凑式设备总成之内,确保最优化的 molbloc/molbox™ 性能。

单通道 molstic-S 设计用于配合单个 molstic-S 元件。双通道模式允许两个 molbloc-S 同时装配,方便在测试过程使用两种范围而无需更换硬件。此外,两个 molbloc-S 元件的输出口还可使用下游T型件(部件号 401884)来平行对接,进而在使用双通道 molbox1+ 时可获得额外的流量范围性能。



流量校准软件

LL 5.png